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曜智光科/MIT团队三维微纳制造光芯片成果登上《Nature Photonics》

作者:中科珩星(广州)光电科技有限公司 浏览: 发表时间:2026-05-15 18:01:34

曜智光科首席科学家领衔的MIT团队研发的'Imp-Fab'三维纳米制造技术,可低成本、高通量加工百纳米以下功能结构,实现器件体积1000-10000倍高密度缩放,并利用微米级设备达到50nm以下加工精度。成果于5月12日发表于《Nature Photonics》,为AI光算力平台构建提供关键支撑。

文章内容及图片来源网络|侵删

曜智光科/MIT团队三维微纳制造光芯片成果登上《Nature Photonics》
曜智光科首席科学家领衔的MIT团队研发的'Imp-Fab'三维纳米制造技术,可低成本、高通量加工百纳米以下功能结构,实现器件体积1000-10000倍高密度缩放
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